今天介紹的是艾斯瑞公司即將自主生產(chǎn)的一款氦質(zhì)譜檢漏儀，我們目前有的是真空密封性測定儀，專用于食品藥品密封袋、真空袋等檢測。今天這款產(chǎn)品屬于附加知識，如您不需要請關(guān)閉頁面，如您想要多了解點(diǎn)知識，歡迎您繼續(xù)閱讀。

為什么要檢測泄漏？

泄漏對應(yīng)于密封。在許多情況下，我們需要密封一定的空間，以防止氣體或液體在壓力的作用下流入或流出這個空間。比如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī)、液晶注射器、PVD、半導(dǎo)體外延等。)需要在真空條件下工作，要求工作時空氣不能漏入工作腔，否則無法進(jìn)行生產(chǎn)，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。此外，裝有液體或氣體的容器(液壓缸、氧氣瓶、空調(diào)冰箱中的雪柜等。)要求容器內(nèi)外有壓力差時沒有氣體或液體漏出。如果發(fā)生泄漏，后果會很嚴(yán)重，一般會造成有效物質(zhì)的浪費(fèi)，如有毒物質(zhì)和腐蝕性氣體泄漏出來，甚至導(dǎo)致事故。

在投入使用前，應(yīng)對這些有密封要求的產(chǎn)品或設(shè)備進(jìn)行泄漏檢查，并在使用過程中定期進(jìn)行檢查。

泄漏率計算：可以簡單理解為單位時間內(nèi)單位體積容器內(nèi)壓力的變化。下面舉兩個例子，直觀的了解漏率。

例1:自行車輪胎有

容積4L，胎壓30天從3 bar降到2 bar，泄漏率可以量化如下:

這種泄漏程度較嚴(yán)重，泄漏率較高。泄漏點(diǎn)可以通過我們常用的檢漏方法來檢測:將輪胎放入水中，氣泡冒出的地方就是泄漏點(diǎn)。

示例2:冰箱

一年之內(nèi)，10克(分子量102 g/mol)的雪籽泄露，大概是2.24 bar？l、泄漏率可量化為:

這種泄漏程度對于冰箱來說是較嚴(yán)重的，但是普通的方法檢測不出來。此時，需要使用檢漏儀或質(zhì)譜儀進(jìn)行檢查。以下是檢漏儀的介紹。

氦檢漏儀檢漏的原理

有兩種方法可以檢測泄漏:

1.將示蹤氣體a置于正壓容器內(nèi)，然后使用儀器檢測容器周圍是否有氣體。

a、如果容器外有氣體a，說明容器內(nèi)有泄漏。這樣就可以檢測出泄漏點(diǎn)，粗略判斷泄漏程度。這種泄漏檢測方法被稱為嗅探器

檢漏或正壓檢漏。

2.示蹤氣體a噴在容器外，用儀器檢測容器內(nèi)是否有氣體a。該方法可以檢測泄漏點(diǎn)并測量泄漏率。這種檢漏方法稱為真空檢漏。

氦泄漏檢測方法的選擇與被檢測對象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，應(yīng)盡可能與被檢測對象的工作狀態(tài)一致。如果工作時被測物體處于正壓狀態(tài)，使用正壓模式；如果工作時被測物體處于負(fù)壓狀態(tài)，使用真空模式。

4.氦質(zhì)譜檢漏示蹤氣體的選擇

示蹤氣體的要求:

1.無害，不會對人體或環(huán)境造成危害

2.重量輕，惰性氣體，能穿透微小裂縫。

3.化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，無化學(xué)反應(yīng)或易燃易爆

4.只有在空氣中的氣體含量盡可能小的情況下，才能滿足泄漏檢測靈敏度的要求檢漏一般用氦(He)作為示蹤氣體，氫(H2)也作為示蹤氣體。